一，涂胶显影设备国产替代空间巨大

消息面，拜登政府限制东京电子Tel对华供应半导体设备，其中影响最大的是涂胶显影设备。

东京电子是涂胶显影设备全球龙头，占据了国内半导体设备很大的市场，尤其在涂胶显影设备这一块约90%的市场，一家独大，主导地位显著。东京电子限制出货了，国内涂胶显影设备相关企业巨大利好，国产替代空间巨大。

二，涂胶显影设备是什么？

涂胶显影设备是与光刻机配合进行作业的关键处理设备，主要负责涂胶、烘烤及显影。

涂胶显影机作为光刻机的输入（曝光前光刻胶涂覆）和输出（曝光后图形的显影）设备，主要通过机械手使晶圆在各系统之间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程，其直接影响到光刻工序细微曝光图案的形成。

涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备。在早期的集成电路和较低端的半导体制造工艺中，此类设备往往单独使用。

随着集成电路制造工艺自动化程度及客户对产能要求的提升，多与光刻设备联机作业，KrF、ArF以及ArFi 工艺设备逐渐占领市场。

三，涂胶显影设备产业链

从产业链角度来看， 资料显示，涂胶显影设备位于半导体产业链的上游（支撑产业），涂胶显影设备既用于半导体晶圆制造（光刻环节），也用于半导体封测（涂胶、显影环节）、OLED制造（光刻环节）。

涂胶显影设备所处产业链位置图示：

四，涂胶显影设备市场格局

涂胶显影等半导体设备行业的市场准入壁垒较高。

在光刻工序涂胶显影设备领域，日本东京电子（TEL）处于垄断地位，市占率高达90%。

主要企业还包括日本迪恩士（DNS）、德国苏斯微（SUSS）、中国台湾亿力鑫（ELS）、韩国细美事（SEMES）等。

中国大陆涂胶显影设备中仅芯源微入围榜单前列。

这些国内部分晶圆厂五年来共采购202台设备，其中东京电子获得采购163台，占比80.7%。

中标的国产设备厂商包括芯源微和盛美上海，目前国内厂商中，芯源微为少数拥有高端in-line设备的量产制造能力，近五年获得采购25台设备，在国内市场占比约12%；盛美上海的中标设备为1台涂胶机和1台显影机，均为off-line设备。

五，A股涂胶显影设备概念股梳理：

芯源微：国内涂胶显影设备龙头，布局化学清洗和先进封装；

盛美上海：2022年末公司分别推出Ultra Pmax PECVD设备及涂胶显影设备，2024年公司预计拥有2-3名核心PECVD客户，并于2025年有望开始放量贡献营收，支撑公司未来5-8年高速成长。此外，公司计划于2024年底推出ArF涂胶显影迭代设备，同时浸没式ArFi Track也将同步推出，差异化产品设计将在客户端产生更大的价值和效益。

固高科技：公司产品在刻蚀、沉积、清洗等半导体前道加工设备中已形成订单，并积极开发如光刻机、机械抛光、涂胶显影等晶圆制造先进制程控制系统；

至正股份：主要产品包括清洗设备、烘箱设备、腐蚀设备、涂胶显影设备、去胶设备、分片设备等。

罗博特科：公司积极开展业务布局，于 2023 年年初立项并实施了半导体涂胶显影设备开发与研究项目。2020 年，公司通过全资子公司斐控晶微参股 ficonTEC 布局光电子及半导体封装测试设备领域。

至纯科技：公司日前主要为下游客户提供半导体制程设备(湿法清洗设备、光伏制绒设备、炉管、涂胶显影；

富乐德：半导体光刻环节涉及溶胶显影设备、涂胶设备、光刻设备、对准检测设备等多种设备，其中溶胶显影、涂胶等设备系公司洗净服务对象。

免责申明：这是个人操作记录，仅供学习交流，不构成 投资建议，最终是否买卖自己定，盈亏自负！