一、光刻机概念盘初活跃 海立股份、张江高科双双涨停

同花顺7x24快讯

光刻机概念盘初活跃，海立股份、张江高科、同飞股份涨停，蓝英装备、富乐德、京华激光、苏大维格等集体高开。

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二、工信部推广分辨率≤65nm国产氟化氩光刻机 张江高科等竞价涨停

网易财经

网易财经9月18日讯 张江高科、同飞股份、海立股份竞价涨停，富乐德、蓝英装备涨超10%，东方嘉盛、国林科技、京华激光、凯美特气。波长光电等涨超5%。

消息面上，工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中在电子专用装备目录下，集成电路生产装备包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

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